Прибор для комплексного исследования физико-механических свойств в диапазоне нагрузок до 50 мН. Прибор оснащен оптическим микроскопом и моторизованным предметным столиком для позиционирования объекта исследования. Высокая степень автоматизации измерений позволяет существенно повысить производительность исследований.
В основе приборов семейства NIOS заложен модульный принцип построения измерительной системы. Конечная конфигурация прибора подбирается индивидуально в соответствии с требованиями и особенностями каждого конкретного пользователя. При формировании измерительной платформы используется целый ряд модулей и дополнительных датчиков, в том числе:
- модуль индентирования;
- модуль оптического микроскопа;
- модуль атомно-силового микроскопа;
- универсальный модуль нано-механических испытаний;
- модуль измерения электрических свойств;
- датчик боковой нагрузки;
- узел in-situ сканирования;
- нагревательный предметный столик.
Режимы измерений и измерительные методики
Измеряемые характеристики
Механические свойства:
- инструментальное индентирование в соответствии с рекомендациями ГОСТ Р 8.748-2011 и ISO 14577;
- измерение микротвердости по ГОСТ 9450-76 и твердости по Виккерсу по ГОСТ 2999-75;
- склерометрия (измерение твердости царапанием) с постоянной или переменной нагрузкой;
- силовая спектроскопия;
- механическая нанолитография;
- измерение жесткости балок и мембран;
- построение зависимостей твердости и модуля упругости от глубины внедрения индентора;
- автоматизированное построение двумерных и трехмерных карт распределения твердости и модуля упругости по поверхности в поле до 100×100 мм;
- проведение измерений адгезии методом прилипанияскольжения;
- измерения в жидкой среде.
Нанотрибология:
- циклическое истирание поверхности при поддержании заданной нагрузки;
- проведение нано-трибологических испытаний в присутствии смазки на исследуемой поверхности.
Оптическая микроскопия:
- выбор области для наномеханических испытаний;
- измерение размеров объектов и высокоточное позиционирование.
Режимы in-situ сканирования:
- измерение профилограммы поверхности на линейной базе до 15 мм;
- полуконтактное динамическое сканирование рельефа алмазным индентором.
Локальные электрические свойства:
- измерение ВАХ при контролируемой нагрузке или глубине внедрения индентора;
- измерение тока растекания при наномеханических испытаниях.
Атомно-силовая микроскопия:
- атомно-силовая контактная микроскопия (AFM);
- атомно-силовая микроскопия в режиме прерывистого контакта (VAFM);
- сканирующая туннельная микроскопия (STM);
- атомно-силовая микроскопия высоких магнитных полей образца (M-AFM);
- атомно-силовая микроскопия электропроводности и электрических потенциалов образца (EAFM);
- атомно-силовая микроскопия упругих свойств образца (FM-AFM);
- атомно-силовая микроскопия трения на поверхности образца (LF-AFM);
- атомно-силовая микроскопия вязкости образца (V-AFM);
- атомно-силовая микроскопия адгезионных свойств образца (AD-AFM);
- литография в режиме атомно-силовой микроскопии (AFM-LIT);
- измерение твердости по изображению восстановленного отпечатка;
- расчет расширенного набора параметров шероховатости по двумерным и трехмерным изображениям рельефа поверхности в соответствии с рекомендациями международных стандартов ISO 3274, ISO 4287, ISO 13565 и ISO 16610.
Измеряемые характеристики:
- микротвердость;
- нанотвердость;
- модуль упругости (Юнга);
- тангенс угла механических потерь;
- степень упругого восстановления;
- адгезия;
- толщина покрытий;
- поверхностная карта механических свойств;
- зависимость механических свойств от глубины;
- томограмма механических свойств;
- жесткость и перемещение микроконструкций;
- трещиностойкость;
- износостойкость;
- линейная интенсивность износа;
- коэффициент трения;
- боковая нагрузка при царапании;
- рельеф поверхности;
- параметры шероховатости;
- вольт-амперные характеристики области контакта;
- удельное электрическое сопротивление.
Области применения
Уникальные возможности приборов семейства NIOS позволяют применять их как в традиционных для нанотвердомеров и СЗМ приложениях, так и в областях недоступных для таких приборов. Сканирующие нанотвердомеры NIOS применяются для исследований механических и электрических свойств, а также измерения линейных размеров и контроля качества поверхностей по следующим направлениям.
Материаловедение: научные исследования и инженерные приложения:
- нанофазные и композитные материалы;
- ультрадисперсные твердые сплавы;
- новые твердые и сверхтвердые материалы;
- конструкционные наноматериалы: сплавы, композиты, керамики;
- тонкие пленки и покрытия;
- углеродные наноматериалы и волокна.
Промышленность: автомобилестроение, авиастроение и космос, станкостроение:
- новые конструкционные и функциональные наноматериалы;
- покрытия для защиты и снижения износа деталей;
- покрытия на режущем инструменте;
- контроль свойств твердосплавного инструмента;
- алмазы и алмазные порошки.
Энергетика:
- наноструктурированные материалы для ядерной энергетики;
- покрытия для турбинных лопаток.
Метрология:
- измерение линейных размеров в нанометровом диапазоне с помощью трехкоординатного лазерного интерферометра.
Приборостроение:
- новые полупроводниковые материалы;
- оптические компоненты;
- микро- и наноэлектромеханические системы (МЭМС и НЭМС);
- микроканальные пластины для приборов ночного видения;
- устройства хранения информации;
- нанолитография.
Строительство, инфраструктура:
- защитные покрытия для изделий из пластика;
- декоративные и функциональные покрытия стекол и металлов.
Медицина:
- стоматология;
- импланты из наноструктурированных материалов;
- биологически активные покрытия;
- стенты.
Образование:
- курс лабораторных работ по наноиндентированию и зондовой микроскопии.