ОСЬ Х
|
Мотопривод 120 мм
|
Мотопривод 200 мм
|
Длина трассы max/min
|
120 мм/0.1 мм
|
200 мм/0.1 мм
|
Скорость транспортная/ измерения
|
10 мм/с – 0.1 мм/с
|
Шаг дискретизации
|
0.125 мкм
|
Непрямолинейность направляющей(Pt)мкм
|
0.35 мкм
|
0.75 мкм
|
ОСЬ Z
|
Мотопривод 120мм
|
Мотопривод 200 мм
|
Номинальный диапазон
|
4, 8,12 мм (со щупом 60 мм)
|
Разрешающая способность
|
0,2; 0,8; 3,2; 12,5 нм
|
Длина щупа, радиус, измерительное усилие
|
60мм, 2мкм радиус, 1 мН
120мм, 0.5мм радиус, 20 мН
|
Общие характеристики
|
Мотопривод 120 мм
|
Мотопривод 200 мм
|
Сфера для калибровки(неопределенность радиуса)
|
22 мм (номинал), сфера (0.4 мкм)
80 мм (номинал), сфера (0.8 мкм)
|
Неопределенность калибровки -Pt
|
0.15мкм (со щупом 60 мм)
0.3 мкм (со щупом 120 мм)
|
Собственный шум Rq
|
2;3;5 нм
|
Неопределенность измерения параметров шероховатости
|
2% + 4 нм (только для высотных)
|
Неопределенность измерения радиусов % (стандартный датчик)
|
для радиусов 0,1 – 12 мм 0,02+(12-R)x1,65x10-1
для радиусов 12 – 22 мм 0,02
для радиусов 22 – 10000 мм 0,02+(R-22)x9,25x10-5
|
Неопределенность измерения углов
|
0.5 мин. (диапазон ±35 град)
|